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        芯片制造关键装备离子注入机成功实现全谱系国产化

        2021-03-22 00:43编辑:诚信在线手机版下载人气:


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        芯片制造要害装备离子注入机乐成实现全谱系国产化

        国产离子注入机。图为研究人员正在举办相关测试。中国电子科技团体供图

        诚信在线北京3月17日电 (赵竹青)据中国电子科技团体17日动静,该团体旗下电科装备已乐成实现离子注入机全谱系产物国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式办理方案。

        离子注入机是芯片制造中的要害装备。据悉,多年来,电科装备持续打破大流强长命命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技能,自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段包围至28nm,累计形成焦点发现专利413项,诚信在线下载,实现我国芯片制造规模全谱系离子注入机自主创新成长,有效缓解我国芯片制造规模断链、短链困难。

        电科装备暗示,下一步,将对准高端,诚信在线下载,紧跟先进工艺成长,加速推进合用于更先进工艺节点离子注入机的研发及财富化。


        (责编:赵竹青、高雷)

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                • (来源:诚信在线手机版下载)

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